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芯联越州申请半导体器件的制备方法和半导体器件专利,可制备高质量半导体器件

0次浏览     发布时间:2025-04-02 18:23:00    

金融界2025年4月2日消息,国家知识产权局信息显示,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请一项名为“半导体器件的制备方法和半导体器件”的专利,公开号 CN 119743970 A,申请日期为 2024年12月。

专利摘要显示,本申请实施例涉及一种半导体器件的制备方法和半导体器件。包括:在半导体材料层上形成栅极材料层和牺牲材料层;牺牲材料层内形成通槽,内壁包括第一延伸部、第二延伸部和折弯部;形成掩膜材料层;刻蚀掩膜材料层覆盖通槽的内壁的部分被保留形成侧墙掩膜,包括第一侧墙部分、第二侧墙部分和侧墙折弯部分,侧墙折弯部分线宽大于第一侧墙部分和第二侧墙部分线宽;去除牺牲材料层;以侧墙掩膜为掩膜刻蚀栅极材料层,形成栅极层,包括位于第一侧墙部分、第二侧墙部分和侧墙折弯部分下方的第一栅极部、第二栅极部和栅极弯折部;去除侧墙掩膜;形成介质层;在介质层内形成暴露栅极弯折部的栅极开口;在栅极开口内形成栅极导电连接结构。

天眼查资料显示,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司,成立于2021年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本300000万人民币,实缴资本300000万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目3次,专利信息107条,此外企业还拥有行政许可13个。

本文源自金融界

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